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MKS 1179A质量流量控制器（橡胶密封）
1179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在多种场合测量和控制气体的流量，特别是对可重复性要求高的场合。配上合适的压力传感器，它还可以作为压力控制器使用。
对于当今市场上的质量流量控制器，1179A是当前常用质量流量计在尺寸、安装以及功能上的直接替代产品。标准的3英寸底座使1179A能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。
MKS 1179A质量流量控制器订购资料
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例：型号1179A00411CR1BVXX |
订购序列号 |
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1179A质量流量控制器 |
1179A |
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校准气体 |
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氦气He |
001 |
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氩气Ar |
004 |
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氢气H2 |
007 |
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氮气N2 |
013 |
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氧气O2 |
015 |
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其他气体 |
可选 |
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校准流量Sccm |
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10 |
11C |
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20 |
21C |
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50 |
51C |
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100 |
12C |
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200 |
22C |
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500 |
52C |
|
1000 |
13C |
|
2000 |
23C |
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5000 |
53C |
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10000 |
14C |
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20000 |
24C |
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装配件 |
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4 VCR凸接头 |
R |
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4 VCO凸接头 |
G |
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0.25英寸管 |
S |
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长度适配器W/4VCR配件 |
L |
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长度适配器W/ 1/4“配件 |
W |
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阀门 |
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常闭 |
1 |
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连接器 |
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9针D型 |
A |
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15针D型 |
B |
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15针边缘卡接口 |
C |
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单元设备15针D型接口 |
N |
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Millpore15针D型接口 |
T |
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密封 |
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标配：Viton |
V |
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选配：Neoprene |
N |
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选配：Buna N |
B |
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选配：KalreZ |
K |
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固化软件版本 |
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MKS会安装订购时软件版本 |
XX |