GM100A是金属密封的数字质量流量控制器，非常适合应用于50-100slm各种各样的工艺中，GM100A具备的传感器技术与机械设计，并且融合的数字与协议电子控制，相对于其他品牌对应产品是秀的产品。GM50A与GM100A的流量范围涵盖5sccm至100slm的超宽量程范围。
GM100A MFC有I/O模拟与数字通讯电气控制，MKS的数据处理控制算法提供了在控制范围内快速的可重复性。精度为标定气体的1%，GM100A的通讯接口等完全兼容1479A MFC，并且扩展了流量范围。所有GM100A包括modbus可作为一种有效二次1/O。
GM100A特点与优点：
MKS的热传感器设计提供了的稳定性。
设计精度为1%保证了过程的精确控制
很容易调节量程范围，减少了客户成本
高抛光的316L表面适合高纯度工艺使用
兼容模拟和数字（RS485/DeviceNet、Profibus协议）可以完全替换1479A
符合CE与RoHS认证
Compact 3 inch footprint with high flow 4 VCR fittings allows the user to increase system flow rate without the need to modify gas lines.
GM100A主要技术参数：
量程范围：50-100slm（GM50A 5-50000sccm）
进口压力：150Pisa
工作压力：40-80Pisa
承受压力：1000pisa
损坏压力：1500Pisa
控制范围：全量程的2%至
精度：在20%至设定量程为±1%，设定值2%至20%时为±0.2%
重复性：读数的0.3%
分辨率：0.1%
响应时间：小于750msec
工作温度：10~50℃
GM100A订购资料：
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例：型号P2A013500RAT2 |
采购序列号 |
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中流量MFC |
GM100A |
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用于校准的气体 |
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五氟化砷AsF5 |
096 |
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胂AsH3 |
035 |
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氮气N2 |
013 |
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磷化氢 PH3 |
031 |
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其他气体 |
可选 |
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满量程流量范围 |
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50000sccm |
504 |
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75000sccm |
754 |
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100000sccm |
105 |
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法兰接口 |
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4VCR |
R |
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8VCR |
T |
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1/2 |
K |
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通讯接口 |
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DeviceNet |
4 |
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RS485（使用9针D型接口） |
5 |
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Profibus |
6 |
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D-9 Pin（0-5V）模拟量 |
A |
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D-15 Pin（0-5V）模拟量 |
B |
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D-15 Pin（4-20mA） |
H |
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阀/密封类型 |
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常闭阀/丁晴橡胶阀塞 |
MB |
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常闭阀/氯丁橡胶阀塞 |
MN |
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常闭阀/氟橡胶阀塞 |
MV |
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无阀/MFM |
30 |
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标准 |
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MKS标准 |
0 |
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软件版本 |
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MKS会安装出厂版本 |
20 |