特长 ● NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。 ● 低噪音、低振动 ● 优良的耐腐蚀性 标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。 ● 选购件 可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。 用途 ◆ 活性气体（CVD、刻蚀等） ◆ 排出非活性气体（溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等） ◆ 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等） ◆ 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵） ◆ 冷冻干燥等水蒸气排气