激光高分辨率系列

有效量程    0.5 - 34 mm 误差    ≤±10 µm 分辨率       1 µm 重复性       ± 3 µm 测量频率    2.3 kHz（数字） 信号输出    0-10 V / RS232 / RS422 

LED高分辨率系列

线性量程    0.3 - 40 mm 误差    ≤±3 µm(3σ) 分辨率       0.1 µm  重复性       ± 1 µm 测量频率    2.3 kHz (数字) 信号输出    0-10 V / RS232 / RS422