测量范围
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电阻率:0.001~200Ω.cm(可扩展);
方块电阻:0.01~2000Ω/□(可扩展);
电导率:0.005~1000 s/cm;
电阻:0.001~200Ω.cm;
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可测晶片直径
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140mmX150mm(配S-2A型测试台);
200mmX200mm(配S-2B型测试台);
400mmX500mm(配S-2C型测试台); |
恒流源
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电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档,各档电流连续可调 |
数字电压表
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量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
输入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示; |
四探针探头基本指标
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间距:1±0.01mm;
针间绝缘电阻:≥1000MΩ;
机械游移率:≤0.3%;
探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;
探针压力:5~16 牛顿(总力); |
四探针探头应用参数
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(见探头附带的合格证) |
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行)
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0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
整机测量相对误差
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(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5% |
整机测量标准不确定度
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≤5% |
计算机通讯接口
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并口 |
标准使用环境
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温度:23±2℃;
相对湿度:≤65%;
无高频干扰;
无强光直射; |