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INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.
MPG400冷阴极和皮拉尼的复合真空规的详细介绍
优点：
■复合真空规—冷阴极与皮拉尼
■宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压
■无可烧毁的灯丝
■的引燃功能
■易清洗
■FPM或金属密封的馈入件
■高压加上时LED指示灯亮
■对数模拟输出讯号
应用：
■高真空压强监测
■蒸发和溅射系统的压强测量
■一般真空测量和控制，从中至高真空范围
技术参数：
| 测量范围 (空气, N2) | 毫巴(乇) | 5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760) | |
| 精度 (N2) 1 x 10-8 … 100毫巴 | % 读值 | ≈±30% | |
| 重复性1 x 10-8 … 100毫巴 | % 读值 | ≈±5% | |
| 安装方向 | 任何 | ||
| 允许压强 | 巴() | ≤10 (限于惰性气体) | |
| 允许温度 工作 (室温) 贮存 烘烤 1) 灯丝温度 (皮拉尼) | °C °C °C °C | +5 … +55 –40 … +65 150 120 | |
| 电源电压 | |||
| 在规管上 | V DC | +15 … +30 | |
| 在供电单元上, 电缆长度 2) | V DC | +16 … +30 | |
| 纹波 | Vpp | ≤1 | |
| 功耗 | W | ≤2 | |
| 连接保险丝 | AT | ≤1 | |
| 输出讯号(测量讯号) | |||
| 电压范围 | V | 0 … +10.5 | |
| 测量范围 | V | +1.82 … +8.6 | |
| 电压与压强的关系 | 对数, 0.6 V/量级 | ||
| 误差讯号 | V | <0.5 (无电源) | |
| V | >9.5 (皮拉尼传感器, 灯丝断裂) | ||
| 输出阻抗 | ? | 2 x 10 | |
| 负载阻抗 | k? | 10, 短路保护 | |
| 响应时间 p > 10毫巴 -6 | 毫秒 | <10 | |
| p = 10-8 毫巴 | 毫秒 | ≈1000 | |
| 规管标识 | k? | 85, 参考电源公共点 | |
| 状态 | |||
| 仅皮拉尼模式 | V | 0 (低) | |
| 复合皮拉尼 / 冷阴极模式 | V | 15 … 30 (高) | |
| 指示灯 | LED 绿色 | 高压on | |
| 电气连接 | FCC 68 设备连接件, 8脚,凹型 | ||
| 传感器电缆 | 8芯,加屏蔽 | ||
| 电缆长度 | 米 | ≤50 (8 x 0.14 毫米2) | |
| 工作电压 | 千伏 | ≤3.3 | |
| 工作电流 | 微安 | ≤500 | |
| 暴露于真空的材料 | 不锈钢, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W | 不锈钢, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W | |
| 内容积 | 厘米3 | ≈20 | |
| 重量 | |||
| DN 25 ISO-KF | 克 | ≈700 ≈730 | |
| DN 40 ISO-KF | 克 | ≈720 ≈750 | |
| DN 40 CF-F | 克 | ≈980 ≈1010 | |
| 保护级别 | IP 40 | ||
| 标准 | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 | ||