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HPG400
高 压 强 热 电 离 皮 拉 尼 真 空 计
INFICON公司生产的HPG400型高压强热电离皮拉尼真空计将高压强热电离与皮拉尼规管综合在一个小型、
轻便与经济的规管中，测量压强从2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重复性
和再现性压强测量，用于精确的溅射过程的压强控制。
用 户 优 越 性
◆ HPG400节省成本和设备空间，降低真空测量的安装与设置的复杂性
◆ 高压强热电离真空计1×10-5毫巴为要求高的过车工控制提供精确、可靠的压强测量
◆ 用户可选的热电离发射在5×10-2至1毫巴之间起始工作
◆ 皮拉尼联锁保护热阴极防止它过早烧毁
◆ 高真空皮拉尼自动调整，减少操作人员的干预
◆ 备有可选的图形显示器和现场总线接口
典 型 应 用
◆ 半导体制作中溅射工艺应用，电子学的媒体工业
◆ 工业镀膜
◆ 在低至超高真空范围中系统的一般真空测量和控制
订 购 资 料
| 型号 | HPG400 Without LCD display | HPG400 With LCD display | HPG400-SP With Profibus DP1） | HPG400-SD With DeviceNet1） |
| DN 25ISO-KF | 353-520 | 353-521 | 353-525 | 353-527 |
| DN 40CF-R | 353-522 | 353-523 | 353-526 | 353-528 |
| 更换传感器25ISO-KF | 354-487 | 354-487 | 354-487 | 354-487 |
| 更换传感器40CF-R | 354-488 | 354-488 | 354-488 | 354-488 |
| 电源24VDC/RS232C线 | 353-511 | 353-511 | 353-511 | 353-511 |