低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质的第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子混合体。
放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。(适应于家具厂、鞋厂、五金厂、电子厂、工艺品厂、印染厂、塑料制品厂等等)同样
低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到分解污染物的目的。
所以只能用低温等离子废气处理设备来处理这种类型的工业废气。等离子技术处理涂装系统废气，油墨废气，高压静电式的印刷印染废气都有独到的优势。