蔡司Crossbeam系列-蔡司聚焦离子束扫描电镜将场发射扫描电镜（FE-SEM）镜筒的强大的成像和分析性能与全新一代聚焦离子束（FIB）的高效处理加工能力相结合。无论是加工切割、成像或进行3D分析，都能在不损失精度的前提下，提高聚焦离子束的应用速率效率。通过加装飞秒激光（FemtosecondLaser）模块，Crossbeam的加工效率可进一步拓展，同时可以满足多种微纳加工需求。  

[产品特点]  

1.低能着陆电压下获得高分辨率图像  

2.可实现大尺寸到纳米精度的切割  

3.批量自动制备TEM薄片样品  

4.Atlas5可创建多尺度、多模式综合图像  

5.ToF-SIMS实现高通量3D成份分析  

6.特别设计的无漏磁镜筒  

7.不导电样品不受荷电效应影响  

8.加装飞秒激光模块，实现亚毫米级快速加工，同时有效避免腔室污染  

[应用领域]  

1.生命科学，如断层扫描，三维重构  

2.电池领域，如原子层组分表征  

3.半导体领域，如失效分析，电路修复  

4.金属领域，如界面分析，亚表面分析  

5.材料科学，如晶体微观结构分析，纳米图形化加工  

6.透射电镜、EBSD、微观力学等多种样品的原位制备

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