详细介绍
蔡司Crossbeam系列-蔡司聚焦离子束扫描电镜将场发射扫描电镜(FE-SEM)镜筒的强大的成像和分析性能与全新一代聚焦离子束(FIB)的高效处理加工能力相结合。无论是加工切割、成像或进行3D分析,都能在不损失精度的前提下,提高聚焦离子束的应用速率效率。通过加装飞秒激光(FemtosecondLaser)模块,Crossbeam的加工效率可进一步拓展,同时可以满足多种微纳加工需求。
[产品特点]
1.低能着陆电压下获得高分辨率图像
2.可实现大尺寸到纳米精度的切割
3.批量自动制备TEM薄片样品
4.Atlas5可创建多尺度、多模式综合图像
5.ToF-SIMS实现高通量3D成份分析
6.特别设计的无漏磁镜筒
7.不导电样品不受荷电效应影响
8.加装飞秒激光模块,实现亚毫米级快速加工,同时有效避免腔室污染
[应用领域]
1.生命科学,如断层扫描,三维重构
2.电池领域,如原子层组分表征
3.半导体领域,如失效分析,电路修复
4.金属领域,如界面分析,亚表面分析
5.材料科学,如晶体微观结构分析,纳米图形化加工
6.透射电镜、EBSD、微观力学等多种样品的原位制备
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