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热处理软磁合金达到优异性能的 一道关键工序。它是通过控制加热温度、保温时间、冷却速度和冷却方式，在一定的加热介质中，改变合金的内部组织结构和磁结构，以获得所需的磁性能。软磁合金的热处理包括高温退火和磁场热处理等。
（1）高温退火。目的是消除加工应力，脱除对软磁性能有害的非金属夹杂，使晶粒再结晶并充分均匀长大，形成晶粒取向。高温退火有氢气热处理和真空热处理两种，后者主要处理非真空熔炼合金和含有易氧化元素的合金。为了改变软磁合金在有序-无序转变时的有序度，从而调整磁晶各向异性常数K1和磁致伸缩系数λs，以获得更好的磁性，通常是通过控制冷却速度或改变Tc以下的保温时间来达到。