双腔室超高真空双倾角蒸镀PVD系统核心参数：

仪器种类：其他

产地类别：国产

应用领域：其它

基片尺寸：4寸（可定制）

靶材：SiO2

基片温度范围：RT-600ºC

成膜厚度均匀性：均一性<3%

极限真空：<3E-9Torr

厦门韫茂科技有限公司为您提供双腔室超高真空双倾角蒸镀PVD系统的参数、价格、型号、原理等信息，产地为福建、品牌为韫茂，型号为QBT-E，价格为150万-200万RMB，更多相关信息可咨询。厦门韫茂科技有限公司是一家以纳米级表面成膜和刻蚀技术为核心的高新技术企业，面向量子科学，先进材料，半导体，超导等领域为客户提供方位的技术解决方案，帮助客户更高效的推动技术的探索与发展，公司形成以UHV超高真空镀膜装备，ALD原子层镀膜系统、半导体专用镀膜设备为核心的产品矩阵，助力中国的高科技技术和产业的发展。

PVD

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