工程机械、建筑机械
半导体红外显微镜
2023-05-29 11:49  浏览:10
 MX-IR/BX-IR半导体红外显微镜

非破坏观察半导体器件内部       

随着不断发展的电子设备小型化、超薄化的需求,半导体器件的封装技术也高速进化。使用近红外线显微镜,可以对SiP(System in Package)、三维组装、CSP(Chip Size Package)等用可视观察无法看到的领域进行无损检查和分析。       

 

倒装芯片封装的不良状况无损分析       

在倒装芯片的焊接中,组装后的焊接部分和模块无法用可见光检查。但是,如果使用近红外线显微镜,则可以在不破坏封装的前提下,透过硅观察IC芯片内部。只要置于显微镜下,就可以轻松进行不良状况分析。对必需用FIB(Focused            Ion Beam)处理位置的也有效。       

 

晶圆级CSP开发的环境试验导致芯片损坏       

晶圆级CSP的高温高湿试验导致器件的变化,可以用非接触方式检查。此外,还能可靠的观察铜引线部分的融解和腐蚀引起的漏电、树脂部分的剥离等。       


铝引线部分(内面观察)


焊锡溢出性评价

电极部分(内面观察)

 

 

针对不同样品的显微镜产品阵容       

 

MX系列产品(半导体检查型号)       

可以用来观察150~300 mm晶圆等的大型样品。只对应反射照明观察。       


半导体/FPD检查显微镜 MX61


工业检查显微镜 MX51

 

BX系列产品(标准型号)       


研究级全电动系统                        
金相显微镜 BX61

对应反射光观察和透射光观察。                   

 

BXFM(嵌入式设备型号)       


小型系统显微镜 BXFM

将物镜等近红外线观察装置搭载于显微镜上,就可以组成红外线观察显微镜。            
有关对应的显微镜规格,请参阅各显微镜的具体规格说明。       

http://www.nikon-microscope.com/Products-31091385.html
https://www.chem17.com/st398326/erlist_1781791.html
联系方式
发表评论
0评