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氦质谱检漏
近年来，随着科学技术的飞速发展，氦质谱法检漏及其应用技术不断发展和完善。 世界各地的制造商推出了各种类型的氦质谱检漏仪，广泛应用于航空航天、电力电子、汽车、制冷和等行业。在设备和厂房当中，常常有一些管道等连接的部位，这些地方的封接处可能存在肉眼难以察觉的细小孔洞，在使用时如果不注意就会导致泄露，从而造成事故。 综观新型氦质谱检漏仪的性能特点，氦质谱检漏仪正朝着高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等先进方向发展，这些特点满足了检漏应用的需要，推动了氦质谱法检漏技术的发展。
氦质谱检漏方法
氦质谱检漏方法是基于氦质谱检漏仪的氦分压测量原理。 当样品的密封面发生泄漏时，氦和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。因此，在测漏过程中采用较高的测试压力，可有效检测出在实际运行中未出现的漏孔。 当泄漏气体进入氦质谱泄漏检测器后，由于氦质谱泄漏检测器具有选择性识别能力，因此只给出气体中氦的分压信号。 在获得氦气信号值的基础上，通过标准的泄漏量比较，可以得到氦气的泄漏量。
氦质谱检漏器的主要性能指标
1.较小检漏率: 即氦质谱检漏器能检测到的较小泄漏率。
2.响应清除时间: 当一定流量的勘探气体进入氦质谱检漏仪后，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示器可以达到较大值，漏率指示器不能立即恢复到零，需要一定时间下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。
3.启动时间: 氦质谱泄漏探测器开启电源和能够探测到泄漏之间的时间
用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
氦气检漏仪时候氦质谱检漏仪的俗称，运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。如果这些设备有漏点，那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。质谱仪通过其部件质谱室，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同质荷比的离子在场中彼此分开，而相同质荷比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接收所有这些离子，就会得到按照质荷比大小依次分开排列的质谱图，这就是质谱。
