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一种多通道高精密LCR测试系统 [0011]在本发明中,进一步的,所述信号转换电路包括信号调制电路以及ADC电路,所述信号调制电路与所述ADC电路连接,所述信号调制电路用于对采集的正弦信号调节增益,所述ADC电路用于对信号进行转换。[0012]在本发明中,进一步的,所述信号测量单元包括四路结构相同的采集电路,所述采集电路包括运算放大器U601,所述运算放大器U601的正极输入引脚与所述差分电路连接。
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。中文名探针台外文名Probestationchuck尺寸100mm~300mm针座摆放个数2~8颗适用领域4寸~12寸Wafer,如晶圆厂、LED探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动搭配Probe card测试适用领域:8寸/6寸Wafer、IC测试之产品电动型chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不锈钢或镀金)X,Y电动移动行程300mm x 300mmchuck粗调升降9mm,微调升降16mm,微调精度土1u可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数8~12颗显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“材质:花岗岩台面+不锈钢可搭配Probe card测试