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Edwards爱德华STP-iXA3306C磁悬浮分子泵保养

Edwards 英国爱德华分子泵是目前*大的真空设备供应商，在工业、制药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业以及广泛的研发应用的真空技术占有地位。高真空分子泵维修，涡轮分子泵维修 进口涡轮分子泵维修，精修高真空分子泵， Varian 全系列分子泵维修，爱德华分子泵维修。

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Edwards EXT 涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。EXT 使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承，可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作，同时将维护需求降至。

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EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修

爱德华EPX 180真空干泵

Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。

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爱德华BOC Edwards epx180LE干式真空泵维修

数据：

进气法兰ISO63

出口法兰NW25

噪声<59分贝（A）

zui小冷却水流量2升/分钟-1

冷却水温度15-35°C

电力供应200/208 V，50/60 Hz三相

电机额定功率3.0千瓦

重量43.5公斤

EDWARDS EPX爱德华干泵功能和优势：

可兼容的网络 - EPX 系列配有zui终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。

紧凑的占地面积 – 作为可用的zui小工具上泵之一，EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。